真空探针台浅谈真空系统的检漏方法

真空探针台浅谈真空系统的检漏方法、

1. 真空检漏基本概念 

所谓漏气是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压流向低压侧的一种现象。

主要有以下几点:

虚漏.气密性.漏孔.漏率.Z 小可检漏率.检漏灵敏度.反应时间.消除时间.漏孔堵塞现象

2. 漏气的判断方法 

1）真空泵工作是否良好 

2）真空系统内是否存在严重放气  

3）真空系统容器壁或间隙处是否漏气 

4）是否漏气与放气现象共存 

3. 真空检漏法 

1）可动部分：传动轴及其密封部分  

2）玻璃或陶瓷一类的易损部分

3）波纹管 

4）使用法兰和垫圈的密封部分 

5）焊接部分的裂痕处  

4. 真空检漏技巧 

1）对于正在加工制造过程中的真空容器或装置来说，采用气泡检漏法 

2）对于正在使用过程中的真空容器或装置来说，似乎没有损坏，但现压强急剧上升时，首先用点着的真空规和作为漏液体的酒精或丙酮，检查认为容易损坏的地方。  

3）若尽管做了上述种种努力还是找不到漏孔，则要用罩子法或压强上升法来判断是否漏气。实验室真空系统