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超低温、多工位驱动、高真空实验真空系统:
本设备特点:
1、多工位真空驱动,本驱动含上下驱动,旋转驱动、
样品输送驱动等多方位真空位移传递。
2、腔体内部超低温(-160℃)
3、真空度-5Pa
实验室真空系统,真空腔体,真空探针台