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MPCVD钻石生长炉真空腔体
1、极限真空-5Pa
2、出厂漏率1.3*10-10Pa·M3/S
3、根据图纸生产,或安需求设计
4、可做全套真空部分,含内部样品盘驱动
实验室真空系统,真空腔体,真空探针台